Le domaine des microcapteurs et autres microdispositifs piézoélectriques (actionneurs, récupérateurs d’énergie, etc.) est le thème principal de l’équipe Micro et Nanosystèmes.

Son expertise va du développement de matériaux piézoélectriques (polymères, films minces) aux dispositifs, notamment médicaux, en passant par les techniques de micro et nano fabrication pour la réalisation de microcapteurs/actionneurs multifonctions. Elle s’appuie sur des approches théoriques afin d’obtenir les caractéristiques attendues pour les applications visées.

Sa reconnaissance est attestée par de nombreux projets financés et collaborations internationales. Ces projets portent entre autres sur la réalisation de :

• microcapteurs pouvant supporter des environnements extrêmes (alliage en couche mince, structure auto-protégée),
• microdispositif de monitoring de la chirurgie de l’oreille (capteur de vibration à base de polymère piézoélectrique)
• stimulateurs acoustiques pour la caractérisation mécano-biologique.

Ces réalisations positionnent l’équipe au tout premier plan dans le domaine des matériaux fonctionnels, des microcapteurs et des microdispositifs piézoélectriques.

L’équipe Micro et Nanosystèmes élabore et caractérise des matériaux fonctionnels, notamment piézoélectriques et en couches minces, pour la réalisation de microdispositifs à ondes élastiques. Elle structure les matériaux fonctionnels et les intègre pour réaliser des microdispositifs et des systèmes destinés à être valorisés auprès des partenaires industriels. Les principaux domaines d’application sont la santé, l’industrie 4.0, et le contrôle de la santé des structures (SHM).