, A lnstrnmentation A

, Calcul analytique de l'épaisseur dtune monocouche

, Pour déterminer l'épaisseur d d'un film mince recouvrant un substrat, il faut procéder à une inuerszon de l'équation ellipsométrique l3l

, 9, X est une fonction complexe de d. Il faut alors résoudre l'équation suivante afin de calculer d : A+BX+CX2 o: r*uffi, p.55

. Avec, roU et D:rors B:r po*r 12sT1IpT Ots C:r6"r12"r12, pp.12-21

, On obtient alors deux solutions complexes : *r:-W *

, Avec Det --,lttt -sp)2 -4(c -Fp

, épaisseur de la couche est alors donnée par : -iÀ ln X (4 56) à+n{Nl -No2 sin2 4s

X. Avec, , pp.1-2

, il peut subsister une partie imaginaire pour d. Dans ce cas, l'épaisseur de la couche est la partie réelle de la valeur complexe et la partie imaginaire fournit alors une estimation de I'erreur. l-l LOJ

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