Illustration du principe de la piézoélectricité directe : apparition d'une polarisationélectrique P dans une maille sans centre de symétrie sous l'action d'une déformation, p.24 ,
Vue 3D de la propagation des ondes de volume : (a) Ondes longitudinales (b) Ondes transversales verticales (représentationà gauche) et horizontales (représentationà droite) [23], p.26 ,
, Propagation d'une onde de Rayleigh dans un solide semi-infini : (a) Vue 3D (b) Vue 2D avec n le sens de propagation de l'onde (c) Décroissance de la composante longitudinale u 1 et de la composante transversale u 2 en fonction de la profondeur
, (a) Propagation des ondes de Bleustein-Gulyaev [26] (b) Propagation des ondes de Love
, Vue 2D de la propagation des ondes de Lamb (avec n la direction de propagation
, Illustration de la coupe LN-Y128 largement utilisée dans ce travail
, des IDTs (b) Grandeurs caractéristiques
Schéma de la configuration résonateur associéeà un système d'interrogation, p.34 ,
Schéma de la configuration ID-tag associéeà un système d'interrogation, p.34 ,
, 13 (a) Principe du wedge bonding (b) Principe du ball bonding [49], vol.1
, Schémas des structures ILAW (à gauche) et WLAW (à droite, p.44
, , vol.46
, Capteur d'hydratation ultrafin imperceptible pour l'utilisateur : (a) Représentation schématique (b) Réalisation expérimentale [88]
, Exemples de « structures qui s'étirent » : (a) Rubans de silicium sur PDMS [99] (b) Réseau lisse en graphène [100] (c) Configuration 3D pont-îlot [105]
, Différentes géométries fractales
, Exemples de « matériaux qui s'étirent » : (a) Nanotubes de carbone [110] (b) Fibres de PPy [115] (c) Dépot de PEDOT:PSS sur une structure pyramidale [116]
Stratégies d'intégration des dispositifs sur la peau : (a) Dispositif « tatouage » [81] (b) Dispositif a composants encapsulés [90] (c) Dispositifà substrat fonctionnel [117], p.53 ,
, Réseau de capteurs thermorésistifs placé sur la peau [129]
,
, Représentation schématique (b) Réalisation expérimentale, SAW flexible sur feuille d'aluminium : (a)
, Représentation schématique (b) Réalisation expérimentale, SAW flexible sur polymère transparent : (a)
, Représentation schématique (b) Réalisation expérimentale [140], SAW flexible sur LiNbO 3 aminci : (a)
, , p.62
, Schématisation de la structure WLAWétudiée (vue en coupe)
, Design du résonateur envisagé pour la structure AlN/ZnO/LN, p.66
,
, , p.68
Evolution expérimentale de l'admittance |Y 11 | pour différentes configurations, p.69 ,
, Visualisation numérique du déplacement particulaire des modes pertinents de la structure AlN/ZnO/LN-Y128
, Evolution du facteur de couplageélectromécanique en fonction de l'épaisseur de ZnO (pour uné epaisseur d'AlN fixéeà 8 µm)
, Déplacement particulaire total (représentation 1Dà gauche et 2Dà droite) dans la structure
,
, Etapes de fabrication des IDTs par lithographie et gravure
, Aligneur de masque MJB4 (SUSS MicroTec) utilisé pour le procédé de photolithographie, p.74
, Appareil de lithographieélectronique RAITH150 Two utilisé pour la structure AlN
, Bâti de gravure IBE (4Wave) utilisé dans le cadre de cette thèse
, Peignes interdigités Au/Ti de longueur d'onde 4,4 µm réalisés par lithographieélectronique sur un substrat de LN-Y128 (vue du dessus)
, Bâti de pulvérisation cathodique magnétron DP650 (Alliance Concept) : (a) Vue d'ensemble (b) Intérieur de l'enceinte contenant les 6 cibles (c) Intérieur du sas de transfert, p.78
, Autres bâtis de pulvérisation cathodique magnétron utilisés : (a) Modèle AC450 (b) Bâti conçu au laboratoire
, Tracé rocking curve d'un dépôt de ZnO d'orientation préférentielle (002) et réaliséà T s = 170 ? C, Diagramme ? ? 2? de la structure AlN/ZnO/LN-Y128 (b)
µm)/ZnO(2 µm)/LN-Y128 : (a) Structure colonnaire des couches supérieures (vue en coupe) (b) Rugosité de surface de l'AlN (vue inclinée), p.82 ,
AlN : (a) Vue 2D (b), p.83 ,
, Etapes de fabrication d'une lame FIB de la structure, p.83
, Microscopeélectronique en transmission JEOL ARM 200F de l'Institut Jean Lamour, p.84
, , vol.84
, , p.85
, Analyses DRX de la systématique en température pour un dépôt de ZnOà une pression fixe de 3 × 10 ?3 mbar : (a) Configuration ?-2? (ne pas comparer les angles 2?) (b) Tracé rocking curve de l'orientation (002) pour T s = 300 ? C
, Analyses DRX de la systématique en pression pour un dépôt de ZnOà une température fixe de 300 ? C : Configuration ?-2? (ne pas comparer les angles 2?)
, Analyse du dépôtà T s = 300 ? C sur LN-Y128 (a) Micrographie MET (b) Image haute résolution 89
, , p.89
, , p.91
, Différentes géométries du résonateur synchrone testées au cours de cette thèse, p.92
, Influence des lignes d'accès lors d'une caractérisationélectrique d'un dispositif en configuration (d) (électrodes en aluminium réalisées sur LN-Y128)
Schéma de principe de la technique de masquage des balls (vue en coupe), p.93 ,
, Réalisation expérimentale de la technique des balls : (a) Vue d'ensemble du dispositif (b) Micrographie MEB d'une bille
, 33 (a) Evolution expérimentale de l'admittance |Y 11 |à différentesétapes de fabrication (b) Coefficient de réflexion |S 11 | du dispositif AlN/ZnO/LN-Y128, Techniques de masquage physique : (a) Avec des feuilles de Kapton (b) Avec des lamelles de tantale 94, vol.2
, )/LN-128 avec l'élastomère Solaris en guise de perturbateur
, AlN : vérification expérimentale du confinement de l'onde WLAW, Tracé des paramètres S pour différentesépaisseurs d
, Sensibilité en température : (a) Coefficient de réflexion |S 11 | entre 20 et 60 ? C (b) Variations de fréquences en fonction de la température
, Déplacement particulaire total (représentation 1Dà gauche et 2Dà droite) dans une structure tricouche en fonction de l'épaisseur de NCD ou d'AlN
Influence de l'épaisseur de ZnO dans la structure NCD/ZnO/LN-Y128 (a) Evolution du K 2 en fonction de l'épaisseur de ZnO (b) Déplacement particulaire selon Z en 2D, p.106 ,
, Réacteur du LSPM utilisé pour les dépôts de diamant
, , p.108
, , p.108
250 ? C) sur AlN/ZnO/Si : (a) Vue du dessus (b) Vue en coupe ,
, Analyse DRX d'un dépôt de NCD basse température (250 ? C) sur AlN/ZnO/Si, p.109
, Dépôt de NCD basse température (250 ? C) sur AlN/ZnO/LN-Y128 : (a) Micrographie MEB (b)
,
, Micrographies MEB d'un dépôt de NCD basse température (250 ? C) sur AlN/ZnO/IDT/LN-Y128 111
, Cartographie Xélémentaire du bicouche AlN/IDT(Pt)/LN-Y128 (? = 1, 7 µm), p.128
, Caractérisation de la structure AlN(3,2 µm)/IDT(Pt)/LN-Y128 : (a) Preuve du confinement (b)
,
, Déplacements particulaires en configuration ID-tag : (a) Pour une structure bicouche AlN/IDT(Pt)/LN-Y128 (b) Pour une structure tricouche AlN/ZnO/LN-Y128
, Micrographies MET de la structure AlN/IDT(Cu), p.131
, Etapes de fabrication des membranes amincies de LN-Y128
15 µm) sur un substrat LN-Y128 autosupporté d'épaisseur 125 µm ,
, Admittance |Y 11 | d'un dispositif SAW aminci (? = 10, 15 µm)
, Topographie (2Dà gauche et 3Dà droite) de la face arrière d'un substrat de LN-Y128 : (a) Avec uneépaisseur de 125 µm (rugosité moyenne de 43 nm) (b) Avec uneépaisseur de 500 µm (rugosité moyenne de 326 nm)
, 15 µm) : (a) En présence des couches supérieures (b) Avec différentes techniques d'atténuation des réflexions. Pour davantage de lisibilité, les courbes ontété volontairement décalées, Admittance |Y 11 | d'un dispositif SAW aminci (? = 10
IDTs en aluminium, ? = 4, 4 µm) sur un substrat LN-Y128 autosupporté d'épaisseur 60 µm ,
IDTs en aluminium, ? = 4, 4 µm) sur un substrat LN-Y128 autosupporté d'épaisseur 60 µm ,
, Admittance |Y 11 | d'un dispositif SAW aminci : (a) Résultats numériques (b) Résultats expérimentaux
, Coefficient de réflexion |S 11 | en présence d'un absorbeur : preuve du confinement de l'onde WLAW137
Admittance |Y 11 | simulée pour une structure AlN/ZnO/LN-Z (? = 4, 4µm), p.138 ,
, Déplacement particulaire total (représentation 1Dà gauche et 2Dà droite) dans la structure
,
, Importance du design sur la valeur de Q : (a) Evolution de (Y 11 ) dans le cas d'un dispositif SAW (? = 6, 5 µm) (b) Réflecteurs connectés (c) Réflecteurs déconnectés
, 400 réflecteurs déconnectés de part et d'autre et un taux de métallisation réel de 46%) : (a) Evolution de (Y 11 ) (b) Dispositif expérimental, Etude d'un dispositif WLAW (? = 4, 4 µm) réaliséà partir d'un design optimisé, vol.40
, Caractérisation de la structure AlN(8 µm)/ZnO(2 µm)/LN-Z : (a) Preuve du confinement (b)
,
, (a) Analyse DRX de l'orientation (002) en configuration rocking curve (b) Micrographie MET
, Image haute résolution et clichés de diffraction correspondant pour un dépôt de ZnO sur un substrat LN-Z
,
IDTs en aluminium, ? = 4, 4 µm) sur un substrat LN-Z autosupporté d'épaisseur 60 µm ,
4 µm) : (a) Evolution de l'admittance |Y 11 | (b) Dispositif expérimental, vol.4 ,
Evolution de la puissance re-rayonnée en fonction du produit, p.145 ,
, Chargées enéléments conducteurs [193] (c) A métal liquide, Exemples de réalisations d'antennes souples : (a) Brodées sur textile [190] (b)
, Exemples de capteurs de température basés sur la technologie RFID pour une mesure dans l
, , p.155
, Système d'interrogation d'un capteur SAW
, Schéma de principe d'une antenne en méandre pour un fonctionnementà 868 MHz dans l'air, p.159
,
, Configurations de simulations HFSS : (a) Métallisations en méandres sur l'élastomère Solaris (b)
Maillages du motif en méandres : (a) Répartition très inhomogène (293 000éléments) (b) Répartition satisfaisante avec une taille de maille imposéeà 5 mm (1 600 000éléments), p.161 ,
, Coefficients de réflexion |S 11 | et réactances X s simulés : (a) Dans l'air (b) Sur une section d'avantbras
, Etude d'une antenne fonctionnant dans la bande ISMà 868 M Hz sur une section d'avant-bras : (a) Modèle simulé (b) Coefficient de réflexion |S 11 | et réactance X s
, Lithographie sans masque : (a) Equipement SmartPrint (b) Antenne en méandres réalisée et fixéè a un connecteur SMAà l'aide d'une colle conductrice
, Coefficient de réflexion |S 11 | et réactance X s d'une antenne en serpentin réalisée sur un substrat de Kapton
, Montage expérimental d'une mesureà distance d'un dispositif WLAW basé sur la structure
, Coefficient de réflexion |S 11 | de l'antenne d'interrogation lors d'une mesureà distance d'un dispositif WLAW basé sur la structure AlN/ZnO/LN-Y128(500 µm)
, Principalesétapes de la méthode du transfer printing
, , p.170
, Mesuresà distance (quelques centimètres) d'un dispositif SAW du commerce : (a) Coefficient de réflexion |S 11 | de l'antenne d'interrogation (b) Décalage fréquentiel en environnement chauffant, p.171
, , p.172
, 500 µm) : (a) Coefficient de réflexion |S 11 | de l'antenne d'interrogation (b) Décalage fréquentiel en environnement chauffant, Mesuresà distance (0,5 cm) d'un dispositif WLAW basé sur la structure AlN/ZnO/LN-Y128
, , p.173
, (a) Evolution de (Y 11 ) (b) Evolution du module de l'admittance |Y 11 |
, Montage expérimental d'une mesure sans fil d'un dispositif SAW aminci (substrat LN-Z), p.174
, a) Coefficient de réflexion |S 11 | de l'antenne d'interrogation (b) Décalage fréquentiel en environnement chauffant (distance d'interrogation de 5 cm
60 µm) et connectéà une antenne ultrafine ,
Caractérisationsélectriques du dispositif WLAW aminci basé sur la structure AlN/ZnO/LN-Z(60 µm) : (a) Evolution de (Y 11 ) (b) Evolution du module de l'admittance |Y 11, p.175 ,
, a) Coefficient de réflexion |S 11 | de l'antenne d'interrogation (b) Décalage fréquentiel en environnement chauffant (distance d'interrogation de 5 cm, Mesuresà distance d'un dispositif WLAW aminci basé sur la structure AlN/ZnO/LN-Z(60 µm)
2 (a) Schématisation d'une cible magnétron (b) Cible d'aluminiumérodée, vol.6, p.186 ,
, Schématisation d'un film : (a) polycristallin (b) texturé
, Avant la mesure (b) Pendant la mesure (Les grains représentés en rouge sont en position de diffraction.)
Structure d'une colonne d'un microscopeélectronique en transmission [225], p.192 ,
, Exemples d'objets connectés capables de détecter entre autres la température du corps humain, p.22
, Propriétés des substrats les plus couramment utilisés
, Propriétés des métaux couramment utilisés pour la réalisation des IDTs, p.33
Caractéristiques de l'encapsulation en fonction de l'application visée [48], p.36 ,
, Propriétés générales desélastomères couramment utilisés dans le domaine de l'électronique souple, p.47
, Exemples de capteurs de température flexibles et/ouétirables pour uneéventuelle utilisation sur la peau
, Caractéristiques des dispositifs SAW sur substrats flexibles
, Paramètres de dépôt utilisés pour la structure AlN/ZnO/IDT, p.80
, Récapitulatif des principaux dépôts de ZnO réalisés sur LN-Y128
, Caractéristiques des techniques de fabrication des antennes souples, p.153
, Les valeurs sont celles utilisées pour le modèle fonctionnantà 868 M Hz dans l'air et sur un morceau de muscle modélisant un avant-bras
, Paramètres d'enduction utilisés pour la fabrication desélastomères
Packageless SAW Devices with Isolated Layer Acoustic Waves (ILAW) and Waveguiding Layer Acoustic Waves (WLAW), 2007 IEEE International Frequency Control Symposium Joint with the 21st European Frequency and Time Forum, vol.43, p.195, 2007. ,
Smart wearable systems for personalised health management: current R&D and future challenges, Proceedings of the 25th Annual International Conference of the IEEE Engineering in Medicine and Biology Society, p.19, 2003. ,
L'essor des objets connectés : Introduction, vol.20, p.23, 2015. ,
Les objets connectés, nos inséparables partenaires vers l'avenir, pourraient-ils devenir nos pires ennemis, vol.23, p.195 ,
, Polar : l'inventeur du cardio
A Review of Wearable Solutions for Physiological and Emotional Monitoring for Use by People with Autism Spectrum Disorder and Their Caregivers, Sensors, vol.18, p.4271, 1921. ,
,
A Stress Sensor Based on Galvanic Skin Response (GSR) Controlled by ZigBee, Sensors, vol.12, pp.6075-6101, 1921. ,
Molecularly selective nanoporous membrane-based wearable organic electrochemical device for noninvasive cortisol sensing, Science Advances, vol.4, 1921. ,
, Electromyogramme
, Electroencephalogramme
, Zephyr Performance Systems
, Equivital
, VitalPatch
A Flexible and Wearable Human Stress Monitoring Patch, Scientific reports, vol.6, p.23468, 1922. ,
Coverage of Emotion Recognition for Common Wearable Biosensors, Biosensors, vol.8, p.30, 1922. ,
Les objets connectés en santé : enjeux et limites, 2015. ,
Piezoelectricity: old effect, new thrusts, IEEE Trans. Ultrason., Ferroelect., Freq. Contr, vol.42, pp.916-926, 1924. ,
Développement par compression de l'électricité polaire dans les cristaux hémièdres a faces inclinées, Bulletin de minéralogie, vol.3, issue.4, pp.90-93 ,
Principe de la conservation de l'électricité, ou second principe de la théorie des phénomène? electriques, Journal de Physique Théorique et Appliquée, vol.10, issue.1, pp.381-394 ,
Piezoelectricity, its history and applications, The Journal of the Acoustical Society of America, vol.70, issue.6, p.24, 1981. ,
Integration of Surface Acoustic Wave and Microfluidic Technologies for Liquid-Phase sensing applications, vol.26, p.195, 2019. ,
On Waves Propagated along the Plane Surface of an Elastic Solid, Proceedings of the London Mathematical Society, issue.1, pp.4-11 ,
Les capteursà ondesélastiques de surface: applications pour la mesure des basses pressions et des hautes températures, vol.26, p.41, 2007. ,
Elastic waves in solids I: Free and guided propagation, vol.27, p.195, 1926. ,
, Ondes sismiques, vol.26, p.195
A new surface wave in piezoelectric materials, Appl. Phys. Lett, vol.13, pp.412-413, 1926. ,
Review of shear surface acoustic waves in solids, IEEE Trans. Ultrason., Ferroelect., Freq. Contr, vol.45, pp.935-938, 1926. ,
Propagation et génération des ondesélastiques, vol.27, p.28, 1926. ,
Applications for piezoelectric leaky surface waves, IEEE Symposium on Ultrasonics, p.27, 1990. ,
Surface Acoustic Wave Devices for Mobile and Wireless Communications, Four-Volume Set, p.32, 1998. ,
GHz frequency ZnO/Si SAW device, IEEE Trans. Ultrason., Ferroelect., Freq. Contr, vol.55, p.31, 1930. ,
URL : https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00096087
Surface acoustic wave sensors for high-temperature applications, Proceedings of the 1998 IEEE International Frequency Control Symposium, vol.30, p.203, 1998. ,
Surface acoustic wave filters: With applications to electronic communications and signal processing, p.31, 2010. ,
Measurements of electromechanical coupling coefficient for surface acoustic waves in proton-exchanged lithium niobate, Ultragarsas Ultrasound, vol.33, issue.3, p.138, 1999. ,
Handbook of acoustic crystals, p.31, 1982. ,
A method of search for leaky waves based on exceptional wave theory, Proceedings. An International Symposium, vol.1, p.31, 1995. ,
Piezoelectric properties of ZnO films on a sapphire substrate deposited by an RF-magnetron-mode ECR sputtering system, Japanese journal of applied physics, vol.37, issue.1, p.31, 1998. ,
Investigations on AlN/Sapphire piezoelectric bilayer structure for high-temperature SAW applications, IEEE Trans. Ultrason., Ferroelect., Freq. Contr, vol.59, p.31, 2012. ,
URL : https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00783993
Growth of AlN piezoelectric film on diamond for high-frequency surface acoustic wave devices, IEEE Trans. Ultrason., Ferroelect., Freq. Contr, vol.52, p.42, 2005. ,
Incredible high performance SAW resonator on novel multi-layered substrate, 2016 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS), vol.31, p.43, 2016. ,
Ultra high frequency acoustic wave propagation in fully polymer based surface acoustic wave device, Sensors and Actuators A: Physical, vol.292, p.57, 2019. ,
Direct piezoelectric coupling to surface elastic waves, Appl. Phys. Lett, vol.7, issue.12, p.31, 1965. ,
Densité des principaux métaux et métalloïdes, vol.33, p.203, 1984. ,
CRC Handbook of Chemistry and Physics, Revise Ed, vol.33, p.203, 2016. ,
Données cristallographiques des principaux métaux et métalloïdes, vol.33, p.203, 2009. ,
Filtresà ondes de surface, vol.34, p.203, 2000. ,
Wire bond technology-the great debate: ball vs. wedge, Advanced Packaging, vol.16, issue.2, p.195, 2007. ,
,
Surface acoustic wave probe for chemical analysis. Introduction and instrument description, Analytical Chemistry, vol.51, issue.9, p.38, 1979. ,
A 200 MHz surface acoustic wave resonator mass microbalance, Review of Scientific Instruments, vol.62, p.38, 1991. ,
Measurement of SAW Velocity Versus Strain for YX and ST Quartz, p.1975 ,
, Ultrasonics Symposium, p.38, 1975.
Mesure des températures, p.40, 1992. ,
Étalonnage et vérification des thermomètres, p.40, 1988. ,
Capteurs -Principes de constitution, vol.40, p.41, 2009. ,
Fundamental Limitations on Reading Range of Passive IC-Based RFID and SAW-Based RFID, 2007 IEEE International Conference on RFID, p.41, 2007. ,
Review on SAW RFID tags, IEEE Trans. Ultrason., Ferroelect., Freq. Contr, vol.57, issue.3, p.113, 2010. ,
Micro/nano acoustofluidics: materials, phenomena, design, devices, and applications, Lab Chip, vol.18, issue.14, p.41, 2018. ,
Acoustic Nanofluidics via Room-Temperature Lithium Niobate Bonding: A Platform for Actuation and Manipulation of Nanoconfined Fluids and Particles, Advanced Functional Materials, vol.26, issue.43, p.41, 2016. ,
Multilayered structure as a novel material for surface acoustic wave devices: Physical insight, Acoustic Waves-From Microdevices to Helioseismology, IntechOpen, p.42, 2011. ,
Surface acoustic wave duplexer composed of SiO2 film with convex and concave on Cu-electrodes/LiNbO3 structure, IEEE Ultrasonics Symposium, p.42, 2008. ,
Small-sized SAW duplexers with wide duplex gap on a SiO2/Al/LiNbO3 structure by using novel Rayleigh-mode spurious suppression technique, IEEE Ultrasonics Symposium, p.42, 2008. ,
A SAW duplexer with superior temperature characteristics for US-PCS, IEEE Ultrasonics Symposium, vol.2, p.42, 2004. ,
Miniature surface acoustic wave devices with excellent temperature stability using high density metal electrodes and SiO2 film, 2008 IEEE MTT-S International Microwave Symposium Digest, p.42, 2008. ,
,
Development of a 6 GHz resonator by using an AlN diamond structure, IEEE Ultrasonics Symposium, p.42, 2008. ,
Fabrication of SHF range SAW devices on AlN/Diamond-substrate, IEEE Ultrasonics Symposium, p.42, 2008. ,
SAW devices on diamond, 1995 IEEE Ultrasonics Symposium. Proceedings. An International Symposium, vol.1, p.42, 1995. ,
SAW resonators of SiO2/ZnO/diamond structure in GHz range, Proceedings of the 2000 IEEE/EIA International Frequency Control Symposium and Exhibition, p.42, 2000. ,
Stoneley Waves Propagating Along an Interface Between Piezoelectric Material and Isotropic Material, Ultrasonics Symposium, p.43, 1983. ,
Packageless AlN/ZnO/Si Structure for SAW Devices Applications, IEEE Sensors Journal, vol.13, p.44, 2013. ,
URL : https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-01283888
Simulation of temperature compensated waveguiding layer acoustic wave devices, Journal of Physics D: Applied Physics, vol.52, issue.7, p.44, 2018. ,
Étude,élaboration et caractérisation d'hétérostructures auto-protégéesà base d'ondesélastiques, vol.44, p.185, 2012. ,
Potential of Al2O3/GaN/Sapphire layered structure for high temperature SAW sensors, 2015 Symposium on Piezoelectricity, Acoustic Waves, and Device Applications (SPAWDA), p.44, 2015. ,
URL : https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-01257596
AlN/GaN/Sapphire heterostructure for high-temperature packageless acoustic wave devices, Sensors and Actuators A: Physical, vol.283, p.44, 2018. ,
URL : https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-01868387
Selection of materials for multilayered structures to be used in packageless sensors, 2017 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS), vol.44, p.45, 2017. ,
Packageless acoustic wave sensors for wireless body-centric applications, IEEE SEN-SORS, p.44, 2016. ,
URL : https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-01628935
AlN/ZnO/Diamond structure combining isolated and surface acoustic waves, Appl. Phys. Lett, vol.95, p.45, 2009. ,
URL : https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00475886
,
Matrix methods applied to acoustic waves in multilayers, IEEE Trans. Ultrason., Ferroelect., Freq. Contr, vol.37, p.45, 1990. ,
Extended FEM/SDA Software for Characterising Surface Acoustic Wave Propagation in Multi-Layered Structures, 2007 IEEE Ultrasonics Symposium Proceedings, p.45, 2007. ,
A universal technique for analysis of acoustic waves in periodic grating sandwiched between multi-layered structures and its application to different types of waves, 2010 IEEE International Ultrasonics Symposium, p.45, 2010. ,
Lab-on-Skin: A Review of Flexible and Stretchable Electronics for Wearable Health Monitoring, ACS Nano, vol.11, p.195, 2017. ,
Biomechanical Properties of In Vivo Human Skin From Dynamic Optical Coherence Elastography, IEEE Transactions on Biomedical Engineering, vol.57, p.47, 2010. ,
PDMS-Based Elastomer Tuned Soft, Stretchable, and Sticky for Epidermal Electronics, Advanced Materials, vol.28, issue.28, p.47, 2016. ,
Sylgard 184 Silicone Elastomer, p.47, 2014. ,
, Solaris datasheet
, Ecoflex 00-30 datasheet
Epidermal electronics, Science, vol.333, issue.6044, p.48, 2011. ,
Materials and designs for wireless epidermal sensors of hydration and strain, Advanced Functional Materials, vol.24, issue.25, p.195, 2014. ,
Nanopillar Arrayed Triboelectric Nanogenerator as a Self-Powered Sensitive Sensor for a Sleep Monitoring System, ACS Nano, vol.10, pp.8097-8103, 1948. ,
Soft Microfluidic Assemblies of Sensors, Circuits, and Radios for the Skin, Science, vol.344, p.195, 1948. ,
Bendable transparent ZnO thin film surface acoustic wave strain sensors on ultra-thin flexible glass substrates, Journal of Materials Chemistry C, vol.2, issue.43, p.48, 2014. ,
Self-Cleaning Flexible Infrared Nanosensor Based on Carbon Nanoparticles, ACS Nano, vol.5, p.49, 2011. ,
,
Human Skin Based Triboelectric Nanogenerators for Harvesting Biomechanical Energy and as Self-Powered Active Tactile Sensor System, ACS Nano, vol.7, p.49, 2013. ,
A Self-Healing Electronic Sensor Based on Thermal-Sensitive Fluids, Advanced Materials, vol.27, issue.31, p.49, 2015. ,
Biodegradable and Highly Deformable Temperature Sensors for the Internet of Things, Advanced Functional Materials, vol.27, issue.35, p.49, 2017. ,
Ultra-thin chips for high-performance flexible electronics, npj Flex Electron, vol.2, p.49, 2018. ,
A curvy, stretchy future for electronics, Proceedings of the National Academy of Sciences, vol.106, p.49, 2009. ,
Materials and Mechanics for Stretchable Electronics, Science, vol.327, p.49, 2010. ,
Controlled buckling of semiconductor nanoribbons for stretchable electronics, Nature Nanotech, vol.1, p.195, 2006. ,
Wearable and Highly Sensitive Graphene Strain Sensors for Human Motion Monitoring, Advanced Functional Materials, vol.24, issue.29, p.195, 2014. ,
Highly Sensitive Skin-Mountable Strain Gauges Based Entirely on Elastomers, Advanced Functional Materials, vol.22, pp.4044-4050, 1950. ,
Design of metal interconnects for stretchable electronic circuits, Microelectronics Reliability, vol.48, p.50, 2008. ,
Fractal design concepts for stretchable electronics, Nature communications, vol.5, p.195, 2014. ,
A stretchable and highly sensitive graphene-based fiber for sensing tensile strain, bending, and torsion, Advanced Materials, vol.27, issue.45, p.50, 2015. ,
,
Materials and noncoplanar mesh designs for integrated circuits with linear elastic responses to extreme mechanical deformations, Proceedings of the National Academy of Sciences, vol.105, issue.48, p.195, 2008. ,
Stretchable and Soft Electronics using Liquid Metals, Advanced Materials, vol.29, issue.27, p.51, 2017. ,
,
Masked Deposition of Gallium-Indium Alloys for Liquid-Embedded Elastomer Conductors, Advanced Functional Materials, vol.23, issue.42, p.51, 2013. ,
Eutectic Gallium-Indium (EGaIn): A Liquid Metal Alloy for the Formation of Stable Structures in Microchannels at Room Temperature, Advanced Functional Materials, vol.18, issue.7, p.51, 2008. ,
Highly deformable liquid-state heterojunction sensors, Nature communications, vol.5, p.51, 2014. ,
Positive temperature coefficient thermistors based on carbon nanotube/polymer composites, Scientific reports, vol.4, p.195, 2014. ,
Self-adhesive epidermal carbon nanotube electronics for tether-free long-term continuous recording of biosignals, Scientific reports, vol.4, p.51, 2014. ,
Mechanically reinforced skin-electronics with networked nanocomposite elastomer, Advanced Materials, vol.28, issue.46, p.51, 2016. ,
Large-scale pattern growth of graphene films for stretchable transparent electrodes, Nature, vol.457, p.51, 2009. ,
Multifunctionality and control of the crumpling and unfolding of large-area graphene, Nature materials, vol.12, issue.4, p.51, 2013. ,
A flexible strain sensor from polypyrrolecoated fabrics, Synthetic Metals, vol.155, p.195, 1951. ,
Highly stretchable resistive pressure sensors using a conductive elastomeric composite on a micropyramid array, Advanced Materials, vol.26, issue.21, p.195, 2014. ,
Stretchable, wireless sensors and functional substrates for epidermal characterization of sweat, Small, vol.10, issue.15, p.195, 2014. ,
Stretchable sensors for environmental monitoring, Applied Physics Reviews, vol.6, p.11309, 1954. ,
Multifunctional epidermal electronics printed directly onto the skin, Advanced Materials, vol.25, issue.20, p.54, 2013. ,
Breathable and stretchable temperature sensors inspired by skin, Scientific reports, vol.5, p.54, 2015. ,
,
Coiled Fiber-Shaped Stretchable Thermal Sensors for Wearable Electronics, Advanced Materials Technologies, vol.1, issue.8, p.54, 2016. ,
Development of flexible and wide-range polymer-based temperature sensor for human bodies, 2016 IEEE-EMBS International Conference on Biomedical and Health Informatics (BHI), pp.485-488, 1954. ,
High-resolution flexible temperature sensor based graphite-filled polyethylene oxide and polyvinylidene fluoride composites for body temperature monitoring, Sensors and Actuators A: Physical, vol.278, p.54, 2018. ,
Wearable temperature sensor based on graphene nanowalls, RSC Advances, vol.5, issue.32, p.54, 2015. ,
A Highly Stretchable ZnO Fiber-Based Multifunctional Nanosensor for Strain/Temperature/UV Detection, Advanced Functional Materials, vol.26, pp.3074-3081, 1954. ,
A skin-like stretchable colorimetric temperature sensor, Science China Materials, vol.61, issue.7, p.54, 2018. ,
Visual and flexible temperature sensor based on a pectin-xanthan gum blend film, Organic Electronics, vol.59, p.54, 2018. ,
Polysilicon-based flexible temperature sensor for brain monitoring with high spatial resolution, Journal of Micromechanics and Microengineering, vol.27, issue.2, p.54, 2016. ,
Ultrathin conformal devices for precise and continuous thermal characterization of human skin, Nature materials, vol.12, issue.10, p.195, 2013. ,
An All-Elastomeric Transparent and Stretchable Temperature Sensor for Body-Attachable Wearable Electronics, Advanced Materials, vol.28, issue.3, p.195, 2016. ,
Soft, thin skin-mounted power management systems and their use in wireless thermography, Proceedings of the National Academy of Sciences, vol.113, issue.22, p.195, 2016. ,
Flexible surface acoustic wave resonators built on disposable plastic film for electronics and lab-on-a-chip applications, Scientific reports, vol.3, p.196, 2013. ,
Bendable ZnO thin film surface acoustic wave devices on polyethylene terephthalate substrate, Appl. Phys. Lett, vol.104, p.213504, 1956. ,
,
High sensitivity humidity sensors using flexible surface acoustic wave devices made on nanocrystalline ZnO/polyimide substrates, Journal of Materials Chemistry C, vol.1, issue.39, p.56, 2013. ,
High performance dual-wave mode flexible surface acoustic wave resonators for UV light sensing, Journal of Micromechanics and Microengineering, vol.24, issue.5, p.56, 2014. ,
Flexible over-moded resonators based on P(VDF-TrFE) thin films with very high temperature coefficient, IEEE Trans. Ultrason., Ferroelect., Freq. Contr, vol.60, pp.2039-2043, 1957. ,
URL : https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-01292310
Annealing effect on structural, functional, and device properties of flexible ZnO acoustic wave sensors based on commercially available Al foil, IEEE Transactions on Electron Devices, vol.63, issue.11, p.196, 2016. ,
,
Bimorph material/structure designs for high sensitivity flexible surface acoustic wave temperature sensors, Scientific reports, vol.8, issue.1, p.58, 2018. ,
Flexible and Transparent Aluminum-Nitride-Based Surface-Acoustic-Wave Device on Polymeric Polyethylene Naphthalate, Advanced Electronic Materials, vol.60, p.196, 1959. ,
Flexible surface acoustic wave strain sensor based on single crystalline LiNbO3 thin film, Appl. Phys. Lett, vol.112, issue.9, p.196, 2018. ,
Stoichiometric lithium niobate crystals: Towards identifiable wireless surface acoustic wave sensors operable up to 600°C, IEEE Sensors Letters, vol.3, issue.4, p.64, 2019. ,
URL : https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-02114799
The high temperature resistivity of lithium niobate and related crystals, Proceedings of the 2014 Symposium on Piezoelectricity, Acoustic Waves, and Device Applications, p.64, 2014. ,
Single crystal X-ray diffraction study at 24°C, Journal of Physics and Chemistry of Solids, vol.27, issue.6-7, p.64, 1966. ,
The influence of substrate temperature on the electrical properties of ZnO films prepared by the RF magnetron sputtering technique, Nano, vol.3, issue.06, p.65, 2008. ,
Thermal stability and desorption of group III nitrides prepared by metal organic chemical vapor deposition, Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures Processing, vol.14, issue.6, p.65, 1996. ,
Reliability of AlN/Sapphire bilayer structure for high-temperature SAW applications, 2010 IEEE International Ultrasonics Symposium, p.65, 2010. ,
URL : https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-02118178
Oxidation behavior of AlN films at high temperature under controlled atmosphere, Journal of the European Ceramic Society, vol.28, issue.3, p.65, 2008. ,
Temperature coefficient of SAW frequency in single crystal bulk AlN, Electronics letters, vol.39, issue.9, p.65, 2003. ,
, Les fréquences libres en France, p.196
AlN material constants evaluation and saw properties on AlN/Al2O3 and AlN/Si, Ultrasonics Symposium, p.68, 1981. ,
Improved material constants for LiNbO3 and LiTaO3, IEEE Symposium on Ultrasonics, p.68, 1990. ,
ZnO thin films deposited on various LiNbO3 substrates by RF-sputtering, Applied surface science, vol.169, p.142, 2001. ,
Epitaxial growth of ZnO thin films on LiNbO3 substrates, Thin Solid Films, vol.347, issue.1-2, p.142, 1999. ,
Pulvérisation cathodique magnétron, vol.86, p.185, 2005. ,
Zinc oxide films for acoustoelectric device applications, IEEE Transactions on Sonics and Ultrasonics, vol.32, issue.5, p.86, 1985. ,
Effect of RF power on optical and electrical properties of ZnO thin film by magnetron sputtering, Materials chemistry and physics, vol.72, issue.2, p.86, 2001. ,
Microstructural evolution and preferred orientation change of radio-frequency-magnetron sputtered ZnO thin films, Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films, vol.14, issue.3, pp.1943-1948, 1996. ,
AlN/ZnO/LiNbO3 packageless structure as a low-profile sensor for potential on-body applications, IEEE Trans. Ultrason., Ferroelect., Freq. Contr, vol.65, issue.10, p.99, 2018. ,
URL : https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-01941686
AlN/ZnO/LiNbO3 packageless structure as a low-profile sensor for on-body applications, 2017 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS), p.99, 2017. ,
URL : https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-01941689
SAW propagation characteristics and fabrication technology of piezoelectric thin film/diamond structure, Proceedings., IEEE Ultrasonics Symposium, p.103, 1989. ,
,
Growth of diamond film on single crystal lithium niobate for surface acoustic wave devices, Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films, vol.22, issue.4, p.103, 2004. ,
FEM modeling of AlN/Diamond surface acoustic waves device, Diamond and related materials, vol.16, issue.4-7, p.103, 2007. ,
Rayleigh surface acoustic wave modes of (100) ZnO films on (111) Diamond, Appl. Phys. Lett, vol.94, issue.3, p.103, 2009. ,
AlN/ZnO/Diamond waveguiding layer acoustic wave structure: theoretical and experimental results, IEEE Trans. Ultrason., Ferroelect., Freq. Contr, vol.57, issue.8, p.103, 2010. ,
URL : https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00628408
AlN/ZnO/Diamond structure combining isolated and surface acoustic waves, Appl. Phys. Lett, vol.95, issue.23, p.103, 2009. ,
URL : https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00475886
,
Diamond-SAW devices: a reverse fabrication method, Physica Status Solidi (C), vol.13, issue.1, p.104, 2016. ,
Diamond wafer for SAW application, 1997 IEEE Ultrasonics Symposium Proceedings. An International Symposium, vol.1, p.103, 1997. ,
High velocity SAW using aluminum nitride film on unpolished nucleation side of free-standing CVD Diamond, IEEE Trans. Ultrason., Ferroelect., Freq. Contr, vol.50, issue.6, p.103, 2003. ,
Freestanding CVD Diamond elaborated by pulsed-microwave-plasma for ZnO/Diamond SAW devices, Diamond and related materials, vol.13, issue.4-8, p.103, 2004. ,
Diamond film on langasite substrate for surface acoustic wave devices operating in high frequency and high temperature, Diamond and related materials, vol.16, issue.4-7, pp.966-969, 2007. ,
Low-temperature deposition of nanocrystalline diamond films on silicon nitride substrates using distributed antenna array PECVD system, Physica Status Solidi (A), vol.213, issue.10, pp.2575-2581, 2016. ,
URL : https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-02492710
Resonant Raman spectroscopy of disordered, amorphous, and diamondlike carbon, Physical review B, vol.64, issue.7, p.107, 2001. ,
Micro-Raman spectroscopic characterization ZnO quantum dots, nanocrystals, and nanowires, Quantum Dots, Particles, and Nanoclusters IV, vol.6481, p.108, 2007. ,
,
Multitransducer SAW device architecture for passive wireless sensor tags, IEEE Trans. Ultrason., Ferroelect., Freq. Contr, vol.65, issue.11, p.113, 2018. ,
Optimal cuts of langasite, La3Ga5SiO14 for SAW devices, IEEE Trans. Ultrason., Ferroelect., Freq. Contr, vol.48, issue.2, p.117, 2001. ,
High-temperature stability of LiNbO3 based SAW devices, IEEE Symposium on Ultrasonics, vol.1, pp.192-195, 2003. ,
Stability of langasite regarding SAW applications above 800°C in air atmosphere, 2012 IEEE International Ultrasonics Symposium, p.118, 2012. ,
URL : https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00923021
AlN/Pt/LN structure for SAW sensors capable of operating at high temperature, Appl. Phys. Lett, vol.111, p.73507, 0124. ,
Towards an AlScN-based packageless acoustic wave sensor with RFID capabilities, for applications above 350°C, 2018 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS), p.130, 2018. ,
The epitaxial growth of wurtzite ZnO films on LiNbO3 (0001) substrates, Journal of Crystal Growth, vol.220, issue.3, p.138, 2000. ,
Achieving ultimate Q-factors in SAW resonators on commercial LiNbO3 and LiTaO3 substrates, 2016 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS), pp.1-4, 0140. ,
Quartz orientations for optimal power efficiency in wireless SAW temperature sensors, 2016 European Frequency and Time Forum (EFTF), p.144, 2016. ,
Study of low temperature deposition of nanocrystalline diamond films on ZnO/LiNbO3 layered structures suitable for waveguiding layer acoustic wave devices, Physica Status Solidi (A), vol.215, issue.22, p.146, 2018. ,
URL : https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-02446603
Diamond/ZnO/LiNbO3 structure for packageless acoustic wave sensors, IEEE SENSORS, p.146, 2017. ,
URL : https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-01628938
SAW RFID devices using connected idts as an alternative to conventional reflectors for harsh environments, press, p.146, 2019. ,
URL : https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-02352199
Embroidery and related manufacturing techniques for wearable antennas: challenges and opportunities, Electronics, vol.3, issue.2, p.151, 2014. ,
Effect of textile materials on wearable antenna performance: A case study of GPS antennas, IEEE Antennas and Propagation Society Symposium, vol.1, p.151, 2004. ,
,
Electrical switchability and dry-wash durability of conductive textiles, Scientific reports, vol.5, p.151, 2015. ,
Preparation and application of conductive textile coatings filled with honeycomb structured carbon nanotubes, Journal of Nanomaterials, vol.2014, p.151, 2014. ,
Addressing the challenges of fabricating microwave antennas using conductive threads, 2012 6th European Conference on Antennas and Propagation (EUCAP), vol.151, p.200, 2012. ,
High-geometrical-accuracy embroidery process for textile antennas with fine details, IEEE Antennas and Wireless Propagation Letters, vol.14, p.151, 2015. ,
A piezoresistive carbon filament polymer-matrix composite strain sensor, Smart materials and structures, vol.5, p.151, 1996. ,
Stretchable and reversibly deformable radio frequency antennas based on silver nanowires, ACS applied materials & interfaces, vol.6, issue.6, p.200, 2014. ,
Rational design of a printable, highly conductive silicone-based electrically conductive adhesive for stretchable radio-frequency antennas, Advanced Functional Materials, vol.25, issue.3, p.152, 2015. ,
Reversibly deformable and mechanically tunable fluidic antennas, Advanced Functional Materials, vol.19, issue.22, p.153, 2009. ,
Stretchable microfluidic radiofrequency antennas, Advanced Materials, vol.22, issue.25, p.200, 2010. ,
Microfluidic serpentine antennas with designed mechanical tunability, Lab on a Chip, vol.14, issue.21, p.152, 2014. ,
Inkjet-printed millimetre-wave pet-based flexible antenna for 5G wireless applications, 2018 IEEE MTT-S International Microwave Workshop Series on 5G Hardware and System Technologies (IMWS-5G), vol.152, p.200, 2018. ,
A compact kapton-based inkjet-printed multiband antenna for flexible wireless devices, IEEE Antennas and Wireless Propagation Letters, vol.14, p.152, 2015. ,
Inkjetprinted microstrip patch antennas realized on textile for wearable applications, IEEE Antennas and Wireless Propagation Letters, vol.13, p.152, 2014. ,
Metal/polymer based stretchable antenna for constant frequency far-field communication in wearable electronics, Advanced Functional Materials, vol.25, issue.42, pp.6565-6575, 0200. ,
,
Recent advances in fabrication methods for flexible antennas in wearable devices: state of the art, Sensors, vol.19, issue.10, p.203, 2019. ,
A printed wearable dual-band antenna for wireless power transfer, Sensors, vol.19, issue.7, p.203, 2019. ,
Dual-band e-shaped patch wearable textile antenna, 2005 IEEE antennas and propagation society international symposium, vol.1, p.153, 2005. ,
Compact polyimide-based antennas for flexible displays, Journal of Display Technology, vol.8, issue.2, p.153, 2012. ,
Performance of high-permittivity ceramic-polymer composite as a substrate for UHF RFID tag antennas, International Journal of Antennas and Propagation, vol.2012, p.154, 2012. ,
Wearable UHF RFID sensor-tag based on customized 3D-printed antenna substrates, IEEE Sensors Journal, vol.18, issue.21, pp.8789-8795, 0200. ,
Full passive UHF tag with a temperature sensor suitable for human body temperature monitoring, IEEE Transactions on Circuits and Systems II: Express Briefs, vol.57, issue.2, pp.95-99, 0200. ,
Flexible wireless temperature sensors based on Ni microparticle-filled binary polymer composites, Advanced Materials, vol.25, issue.6, pp.850-855, 0200. ,
Universal pressure and temperature SAW sensor for wireless applications, 1997 IEEE Ultrasonics Symposium Proceedings. An International Symposium, vol.1, p.155, 1997. ,
Error correction method for passive and wireless resonant SAW temperature sensor, IEEE Sensors Journal, vol.15, p.155, 2015. ,
Measuring the inner body temperature using a wireless temperature SAW-sensor-based system, IEEE Ultrasonics Symposium, vol.4, pp.2089-2092, 0200. ,
URL : https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00135713
Comparative analysis of the experience obtained from the use of SAW and BAW wireless resonator temperature sensors for surgery, 2015 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS), p.155, 2015. ,
Antenna theory: analysis and design, p.156, 2016. ,
, Pyralux AC datasheet
, Antennes et dispositifs hyperfréquences millimétriques ultrasouples reconfigurablesà base de Microsystèmes Magnéto-Electro-Mécaniques (MMEMS): conception, réalisation, mesures, p.168, 2011.
,
Reliable fabrication method of transferable micron scale metal pattern for poly (dimethylsiloxane) metallization, Lab on a Chip, vol.6, issue.4, p.168, 2006. ,
A millimeter-wave microstrip antenna array on ultra-flexible micromachined polydimethylsiloxane (PDMS) polymer, IEEE Antennas and Wireless Propagation Letters, vol.8, p.168, 2009. ,
URL : https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00469645
Studies on surface wettability of poly (dimethyl) siloxane (PDMS) and glass under oxygen-plasma treatment and correlation with bond strength, Journal of microelectromechanical systems, vol.14, issue.3, p.169, 2005. ,
Wettability increase by "corona" ionization, Langmuir, vol.27, issue.15, p.169, 2011. ,
Wireless stretchable SAW sensors based on Z-cut lithium niobate, IEEE SENSORS, p.177, 2019. ,
Couches minces cristallines -procédés de fabrication et applications, p.185, 2018. ,
Caractérisation de solides cristallisés par diffraction des rayons X, vol.187, p.201, 1996. ,
Microscopieélectroniqueà balayage-principe etéquipement, 0201. ,
Étude des métaux par microscopieélectronique en transmission (MET)-microscope,échantillons et diffraction, vol.192, p.201, 2008. ,
SAW RFID devices using connected IDTs as an alternative to conventional reflectors for harsh environments, IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control ,
A package-less SAW RFID sensor concept for structural health monitoring, Mechanics of Advanced Materials and Structures, 2019. ,
Study of low temperature deposition of nanocrystalline diamond films on ZnO/LiNbO 3 layered structures suitable for waveguiding layer acoustic wave devices, Wireless stretchable SAW sensors based on Z-cut lithium niobate, vol.215, 2018. ,
URL : https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-02446603
Diamond/ZnO/LiNbO 3 structure for packageless acoustic wave sensors, IEEE SEN-SORS, 2017. ,
URL : https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-01628938
AlN/ZnO/LiNbO 3 packageless structure as a low-profile sensor for on-body applications, Finalist of the Student Paper Competition Conférences internationales sans actes C. Floer, 2017. ,
URL : https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-01941689
Numerical and experimental investigations of higherorder modes on Sc x Al 1?x N/Sapphire structure for high-temperature SAW applications, 2019 Joint Conference of the IEEE International Frequency Control Symposium and European Frequency and Time Forum, 2018. ,
AlN/ZnO/ LiNbO 3 as a promising multilayered structure for RFID WLAW sensors, 2018 IEEE International Frequency Control Symposium (IFCS), 2018. ,
A package-less SAW RFID sensor concept for structural health monitoring, International Symposium on Aircraft Materials (ACMA2018), 2018. ,
Low temperature deposition of nanocrystalline diamond films on ZnO/LiNbO 3 substrates for waveguiding layer acoustic wave devices, Publications et communications Workshops et séminaires C. Floer, 2017. ,
Vers une nouvelle génération de capteurs directement tatoués sur la peau, 2019. ,
Diamond/ZnO/LiNbO 3 structure for packageless acoustic wave sensors, IEEE SENSORS France Chapter, 2018. ,
URL : https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-01628938
AlN/ZnO/LiNbO 3 structure for packageless acoustic wave sensors, LMOPS, 2018. ,