. .. , Illustration du principe de la piézoélectricité directe : apparition d'une polarisationélectrique P dans une maille sans centre de symétrie sous l'action d'une déformation, p.24

. .. , Vue 3D de la propagation des ondes de volume : (a) Ondes longitudinales (b) Ondes transversales verticales (représentationà gauche) et horizontales (représentationà droite) [23], p.26

, Propagation d'une onde de Rayleigh dans un solide semi-infini : (a) Vue 3D (b) Vue 2D avec n le sens de propagation de l'onde (c) Décroissance de la composante longitudinale u 1 et de la composante transversale u 2 en fonction de la profondeur

, (a) Propagation des ondes de Bleustein-Gulyaev [26] (b) Propagation des ondes de Love

, Vue 2D de la propagation des ondes de Lamb (avec n la direction de propagation

, Illustration de la coupe LN-Y128 largement utilisée dans ce travail

, des IDTs (b) Grandeurs caractéristiques

. .. , Schéma de la configuration résonateur associéeà un système d'interrogation, p.34

. .. , Schéma de la configuration ID-tag associéeà un système d'interrogation, p.34

, 13 (a) Principe du wedge bonding (b) Principe du ball bonding [49], vol.1

]. .. , Schémas des structures ILAW (à gauche) et WLAW (à droite, p.44

]. .. , , vol.46

, Capteur d'hydratation ultrafin imperceptible pour l'utilisateur : (a) Représentation schématique (b) Réalisation expérimentale [88]

, Exemples de « structures qui s'étirent » : (a) Rubans de silicium sur PDMS [99] (b) Réseau lisse en graphène [100] (c) Configuration 3D pont-îlot [105]

, Différentes géométries fractales

, Exemples de « matériaux qui s'étirent » : (a) Nanotubes de carbone [110] (b) Fibres de PPy [115] (c) Dépot de PEDOT:PSS sur une structure pyramidale [116]

. .. , Stratégies d'intégration des dispositifs sur la peau : (a) Dispositif « tatouage » [81] (b) Dispositif a composants encapsulés [90] (c) Dispositifà substrat fonctionnel [117], p.53

, Réseau de capteurs thermorésistifs placé sur la peau [129]

]. .. ,

, Représentation schématique (b) Réalisation expérimentale, SAW flexible sur feuille d'aluminium : (a)

, Représentation schématique (b) Réalisation expérimentale, SAW flexible sur polymère transparent : (a)

, Représentation schématique (b) Réalisation expérimentale [140], SAW flexible sur LiNbO 3 aminci : (a)

«. Dispositif and . .. De-thèse, , p.62

, Schématisation de la structure WLAWétudiée (vue en coupe)

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I. Bandes and F. Libres-en,

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. .. , Evolution expérimentale de l'admittance |Y 11 | pour différentes configurations, p.69

, Visualisation numérique du déplacement particulaire des modes pertinents de la structure AlN/ZnO/LN-Y128

, Evolution du facteur de couplageélectromécanique en fonction de l'épaisseur de ZnO (pour uné epaisseur d'AlN fixéeà 8 µm)

, Déplacement particulaire total (représentation 1Dà gauche et 2Dà droite) dans la structure

/. Aln, /. Zno, and .. .. Ln-y128-en-fonction-de-l'épaisseur-d'aln,

, Etapes de fabrication des IDTs par lithographie et gravure

, Aligneur de masque MJB4 (SUSS MicroTec) utilisé pour le procédé de photolithographie, p.74

, Appareil de lithographieélectronique RAITH150 Two utilisé pour la structure AlN

, Bâti de gravure IBE (4Wave) utilisé dans le cadre de cette thèse

, Peignes interdigités Au/Ti de longueur d'onde 4,4 µm réalisés par lithographieélectronique sur un substrat de LN-Y128 (vue du dessus)

, Bâti de pulvérisation cathodique magnétron DP650 (Alliance Concept) : (a) Vue d'ensemble (b) Intérieur de l'enceinte contenant les 6 cibles (c) Intérieur du sas de transfert, p.78

, Autres bâtis de pulvérisation cathodique magnétron utilisés : (a) Modèle AC450 (b) Bâti conçu au laboratoire

, Tracé rocking curve d'un dépôt de ZnO d'orientation préférentielle (002) et réaliséà T s = 170 ? C, Diagramme ? ? 2? de la structure AlN/ZnO/LN-Y128 (b)

;. .. Micrographies-meb-de-la-structure-aln, µm)/ZnO(2 µm)/LN-Y128 : (a) Structure colonnaire des couches supérieures (vue en coupe) (b) Rugosité de surface de l'AlN (vue inclinée), p.82

A. Topographie, . De, and 3. .. Vue, AlN : (a) Vue 2D (b), p.83

, Etapes de fabrication d'une lame FIB de la structure, p.83

, Microscopeélectronique en transmission JEOL ARM 200F de l'Institut Jean Lamour, p.84

;. .. Micrographies-haadf-de-la-structure-tricouche-aln, , vol.84

. .. Ln-y128, , p.85

, Analyses DRX de la systématique en température pour un dépôt de ZnOà une pression fixe de 3 × 10 ?3 mbar : (a) Configuration ?-2? (ne pas comparer les angles 2?) (b) Tracé rocking curve de l'orientation (002) pour T s = 300 ? C

, Analyses DRX de la systématique en pression pour un dépôt de ZnOà une température fixe de 300 ? C : Configuration ?-2? (ne pas comparer les angles 2?)

, Analyse du dépôtà T s = 300 ? C sur LN-Y128 (a) Micrographie MET (b) Image haute résolution 89

C. .. Xélémentaire-du-dépôt-de-znoà-t-s-=-300-?-c-sur-ln-y128, , p.89

. .. Banc-de-mesure-sous-pointes-utilisé-dans-le-cadre-de-cette-thèse, , p.91

, Différentes géométries du résonateur synchrone testées au cours de cette thèse, p.92

, Influence des lignes d'accès lors d'une caractérisationélectrique d'un dispositif en configuration (d) (électrodes en aluminium réalisées sur LN-Y128)

. .. , Schéma de principe de la technique de masquage des balls (vue en coupe), p.93

, Réalisation expérimentale de la technique des balls : (a) Vue d'ensemble du dispositif (b) Micrographie MEB d'une bille

, 33 (a) Evolution expérimentale de l'admittance |Y 11 |à différentesétapes de fabrication (b) Coefficient de réflexion |S 11 | du dispositif AlN/ZnO/LN-Y128, Techniques de masquage physique : (a) Avec des feuilles de Kapton (b) Avec des lamelles de tantale 94, vol.2

, )/LN-128 avec l'élastomère Solaris en guise de perturbateur

, AlN : vérification expérimentale du confinement de l'onde WLAW, Tracé des paramètres S pour différentesépaisseurs d

, Sensibilité en température : (a) Coefficient de réflexion |S 11 | entre 20 et 60 ? C (b) Variations de fréquences en fonction de la température

, Déplacement particulaire total (représentation 1Dà gauche et 2Dà droite) dans une structure tricouche en fonction de l'épaisseur de NCD ou d'AlN

. .. , Influence de l'épaisseur de ZnO dans la structure NCD/ZnO/LN-Y128 (a) Evolution du K 2 en fonction de l'épaisseur de ZnO (b) Déplacement particulaire selon Z en 2D, p.106

, Réacteur du LSPM utilisé pour les dépôts de diamant

. .. Micrographies-meb-d'un-dépôt-de-ncd-basse-température-;-?-c)-sur-zno/si, , p.108

. .. Analyse-drx-d'un-dépôt-de-ncd-basse-température-;-?-c)-sur-zno/si, , p.108

M. Micrographies, 250 ? C) sur AlN/ZnO/Si : (a) Vue du dessus (b) Vue en coupe

, Analyse DRX d'un dépôt de NCD basse température (250 ? C) sur AlN/ZnO/Si, p.109

, Dépôt de NCD basse température (250 ? C) sur AlN/ZnO/LN-Y128 : (a) Micrographie MEB (b)

D. .. Analyse,

, Micrographies MEB d'un dépôt de NCD basse température (250 ? C) sur AlN/ZnO/IDT/LN-Y128 111

. .. , Cartographie Xélémentaire du bicouche AlN/IDT(Pt)/LN-Y128 (? = 1, 7 µm), p.128

, Caractérisation de la structure AlN(3,2 µm)/IDT(Pt)/LN-Y128 : (a) Preuve du confinement (b)

. .. Sensibilité-en-température,

, Déplacements particulaires en configuration ID-tag : (a) Pour une structure bicouche AlN/IDT(Pt)/LN-Y128 (b) Pour une structure tricouche AlN/ZnO/LN-Y128

. .. Ln-y128, Micrographies MET de la structure AlN/IDT(Cu), p.131

, Etapes de fabrication des membranes amincies de LN-Y128

S. Dispositif, 15 µm) sur un substrat LN-Y128 autosupporté d'épaisseur 125 µm

, Admittance |Y 11 | d'un dispositif SAW aminci (? = 10, 15 µm)

, Topographie (2Dà gauche et 3Dà droite) de la face arrière d'un substrat de LN-Y128 : (a) Avec uneépaisseur de 125 µm (rugosité moyenne de 43 nm) (b) Avec uneépaisseur de 500 µm (rugosité moyenne de 326 nm)

, 15 µm) : (a) En présence des couches supérieures (b) Avec différentes techniques d'atténuation des réflexions. Pour davantage de lisibilité, les courbes ontété volontairement décalées, Admittance |Y 11 | d'un dispositif SAW aminci (? = 10

S. Dispositif, IDTs en aluminium, ? = 4, 4 µm) sur un substrat LN-Y128 autosupporté d'épaisseur 60 µm

W. Dispositif, IDTs en aluminium, ? = 4, 4 µm) sur un substrat LN-Y128 autosupporté d'épaisseur 60 µm

, Admittance |Y 11 | d'un dispositif SAW aminci : (a) Résultats numériques (b) Résultats expérimentaux

, Coefficient de réflexion |S 11 | en présence d'un absorbeur : preuve du confinement de l'onde WLAW137

. .. , Admittance |Y 11 | simulée pour une structure AlN/ZnO/LN-Z (? = 4, 4µm), p.138

, Déplacement particulaire total (représentation 1Dà gauche et 2Dà droite) dans la structure

/. Aln, /. Zno, and .. .. Ln-z-en-fonction-de-l'épaisseur-d'aln,

, Importance du design sur la valeur de Q : (a) Evolution de (Y 11 ) dans le cas d'un dispositif SAW (? = 6, 5 µm) (b) Réflecteurs connectés (c) Réflecteurs déconnectés

, 400 réflecteurs déconnectés de part et d'autre et un taux de métallisation réel de 46%) : (a) Evolution de (Y 11 ) (b) Dispositif expérimental, Etude d'un dispositif WLAW (? = 4, 4 µm) réaliséà partir d'un design optimisé, vol.40

, Caractérisation de la structure AlN(8 µm)/ZnO(2 µm)/LN-Z : (a) Preuve du confinement (b)

. .. Sensibilité-en-température,

, (a) Analyse DRX de l'orientation (002) en configuration rocking curve (b) Micrographie MET

, Image haute résolution et clichés de diffraction correspondant pour un dépôt de ZnO sur un substrat LN-Z

/. Cartographie-xélémentaire-de-la-structure-zno and . .. Ln-z,

S. Dispositif, IDTs en aluminium, ? = 4, 4 µm) sur un substrat LN-Z autosupporté d'épaisseur 60 µm

/. Etude-d'un-dispositif-wlaw-aln, /. Zno, and . Ln-z-aminci, 4 µm) : (a) Evolution de l'admittance |Y 11 | (b) Dispositif expérimental, vol.4

. .. Q-×-k-c, Evolution de la puissance re-rayonnée en fonction du produit, p.145

, Chargées enéléments conducteurs [193] (c) A métal liquide, Exemples de réalisations d'antennes souples : (a) Brodées sur textile [190] (b)

, Exemples de capteurs de température basés sur la technologie RFID pour une mesure dans l

. Exemple-d'un-capteur-de-température-ingérable-basé-sur-le-principe, , p.155

, Système d'interrogation d'un capteur SAW

, Schéma de principe d'une antenne en méandre pour un fonctionnementà 868 MHz dans l'air, p.159

.. .. Cellule-unitaire-du-pavage,

, Configurations de simulations HFSS : (a) Métallisations en méandres sur l'élastomère Solaris (b)

. .. , Maillages du motif en méandres : (a) Répartition très inhomogène (293 000éléments) (b) Répartition satisfaisante avec une taille de maille imposéeà 5 mm (1 600 000éléments), p.161

, Coefficients de réflexion |S 11 | et réactances X s simulés : (a) Dans l'air (b) Sur une section d'avantbras

, Etude d'une antenne fonctionnant dans la bande ISMà 868 M Hz sur une section d'avant-bras : (a) Modèle simulé (b) Coefficient de réflexion |S 11 | et réactance X s

, Lithographie sans masque : (a) Equipement SmartPrint (b) Antenne en méandres réalisée et fixéè a un connecteur SMAà l'aide d'une colle conductrice

, Coefficient de réflexion |S 11 | et réactance X s d'une antenne en serpentin réalisée sur un substrat de Kapton

, Montage expérimental d'une mesureà distance d'un dispositif WLAW basé sur la structure

, Coefficient de réflexion |S 11 | de l'antenne d'interrogation lors d'une mesureà distance d'un dispositif WLAW basé sur la structure AlN/ZnO/LN-Y128(500 µm)

, Principalesétapes de la méthode du transfer printing

. .. , , p.170

, Mesuresà distance (quelques centimètres) d'un dispositif SAW du commerce : (a) Coefficient de réflexion |S 11 | de l'antenne d'interrogation (b) Décalage fréquentiel en environnement chauffant, p.171

. .. Connectéà-une-antenneétirable, , p.172

, 500 µm) : (a) Coefficient de réflexion |S 11 | de l'antenne d'interrogation (b) Décalage fréquentiel en environnement chauffant, Mesuresà distance (0,5 cm) d'un dispositif WLAW basé sur la structure AlN/ZnO/LN-Y128

S. Dispositif and . .. Ln-z)-connectéà-une-antenne-ultrafine, , p.173

, (a) Evolution de (Y 11 ) (b) Evolution du module de l'admittance |Y 11 |

, Montage expérimental d'une mesure sans fil d'un dispositif SAW aminci (substrat LN-Z), p.174

, a) Coefficient de réflexion |S 11 | de l'antenne d'interrogation (b) Décalage fréquentiel en environnement chauffant (distance d'interrogation de 5 cm

. Dispositif, /. Zno, and . Ln-z, 60 µm) et connectéà une antenne ultrafine

|. .. , Caractérisationsélectriques du dispositif WLAW aminci basé sur la structure AlN/ZnO/LN-Z(60 µm) : (a) Evolution de (Y 11 ) (b) Evolution du module de l'admittance |Y 11, p.175

, a) Coefficient de réflexion |S 11 | de l'antenne d'interrogation (b) Décalage fréquentiel en environnement chauffant (distance d'interrogation de 5 cm, Mesuresà distance d'un dispositif WLAW aminci basé sur la structure AlN/ZnO/LN-Z(60 µm)

. .. , 2 (a) Schématisation d'une cible magnétron (b) Cible d'aluminiumérodée, vol.6, p.186

, Schématisation d'un film : (a) polycristallin (b) texturé

, Avant la mesure (b) Pendant la mesure (Les grains représentés en rouge sont en position de diffraction.)

. .. , Structure d'une colonne d'un microscopeélectronique en transmission [225], p.192

, Exemples d'objets connectés capables de détecter entre autres la température du corps humain, p.22

, Propriétés des substrats les plus couramment utilisés

, Propriétés des métaux couramment utilisés pour la réalisation des IDTs, p.33

. .. , Caractéristiques de l'encapsulation en fonction de l'application visée [48], p.36

, Propriétés générales desélastomères couramment utilisés dans le domaine de l'électronique souple, p.47

, Exemples de capteurs de température flexibles et/ouétirables pour uneéventuelle utilisation sur la peau

, Caractéristiques des dispositifs SAW sur substrats flexibles

. .. Ln-y128, Paramètres de dépôt utilisés pour la structure AlN/ZnO/IDT, p.80

, Récapitulatif des principaux dépôts de ZnO réalisés sur LN-Y128

, Caractéristiques des techniques de fabrication des antennes souples, p.153

, Les valeurs sont celles utilisées pour le modèle fonctionnantà 868 M Hz dans l'air et sur un morceau de muscle modélisant un avant-bras

, Paramètres d'enduction utilisés pour la fabrication desélastomères

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