Les travaux présentés dans ce mémoire concernent la préparation de surfaces industrielles et plus particulièrement le nettoyage de surface par plasma. Afin de clarifier le rôle joué par les différentes espèces actives lors du nettoyage de surface, nous avons étudié les mécanismes d'interaction entre des post-décharges Nz-Oz et l'hexatriacontane. Les modifications de l'hexatriacontane ont été mises en évidence à l'aide de différentes techniques d'analyse (pesées, analyses chimiques élémentaires, analyses par spectroscopie infrarouge à transformée de Fourier et analyses par chromatographie d'exclusion stérique). Nous avons également étudié la phase gazeuse par spectroscopie d'émission optique et déterminé les concentrations d'oxygène et d'azote atomiques par titrage NO pour certains mélanges. La corrélation de ces résultats expérimentaux avec les résultats apportés par la modélisation des post-décharges, a permis de déterminer précisément quelles sont. Les espèces et les mécanismes réactionnels intervenant lors de la fonctionnalisation et de la gravure du polymère. Grâce aux conclusions obtenues lors de ces études de base, il a été possible d'appréhender plus facilement les trois problématiques industrielles soumises dans le cadre du projet ministériel TIAG. Nous avons alors étudié la préparation de surface d'échantillons en cuivre par plasmas radio-fréquences et DC pulsé, la préparation de surface d'échantillons en alliage cuivre-plomb par plasmas DC pulsé et enfin, l'élimination de contaminants pouvant ressuer de plaques de polycarbonate et de polysulfone par plasmas DC pulsé.