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Effet de la température de la cible ou d'une modulation à basse fréquence de l'intensité de la décharge sur l'instabilité du processus de pulvérisation réactive du titane ou du zirconium par un plasma Ar/N2 ou Ar/O2

Résumé : La pulvérisation cathodique magnétron en condition réactive est un procédé de traitement de surface non polluant qui permet la synthèse d'une large gamme de revêtements céramiques (nitrures, oxydes, carbures, ...) sur différents types de substrats (acier, verre, plastique, ...). Pour ce faire, une cible métallique est pulvérisée en présence d'un plasma à base d'argon et contenant une certaine proportion de gaz réactif (azote, oxygène, méthane, ...). Néanmoins, l'obtention des composés céramiques aux propriétés intéressantes, s'effectue généralement avec une faible vitesse de dépôt, lorsque le gaz réactif introduit dans l'enceinte de pulvérisation présente une affinité importante avec le métal constituant la cible et / ou lorsque la vitesse de pompage est insuffisante. Après la description détaillée du dispositif expérimental et des conditions de pulvérisation, nous présentons une étude de l'instabilité du processus de pulvérisation réactive du titane et du zirconium en présence d'un plasma à base d'argon et contenant de l'azote ou de l'oxygène. Pour des conditions de pulvérisation, volontairement choisies très instables, nous présentons trois techniques de pulvérisation simples et innovantes qui permettent d'augmenter de façon significative la vitesse de dépôt des composés stoechiométriques TiN, ZrN, TiO2 et ZrO2 : l'augmentation du flux de métal pulvérisé, la modulation à basse fréquence de l'intensité de la décharge et l'augmentation de la température de la cible qui favorise la consommation par diffusion de l'azote ou de l'oxygène au cours de la pulvérisation.
Document type :
Theses
File URL :
http://docnum.univ-lorraine.fr/prive/INPL_T_2001_MERCS_D.pdf
Complete list of metadatas

https://hal.univ-lorraine.fr/tel-01750329
Contributor : Thèses Ul <>
Submitted on : Thursday, March 29, 2018 - 12:43:07 PM
Last modification on : Monday, April 16, 2018 - 10:41:00 AM

Identifiers

  • HAL Id : tel-01750329, version 1

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David Mercs. Effet de la température de la cible ou d'une modulation à basse fréquence de l'intensité de la décharge sur l'instabilité du processus de pulvérisation réactive du titane ou du zirconium par un plasma Ar/N2 ou Ar/O2. Autre [cond-mat.other]. Institut National Polytechnique de Lorraine, 2001. Français. ⟨NNT : 2001INPL593N⟩. ⟨tel-01750329⟩

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