Étude de la formation des ions MCs+ en spectromètrie de masse d'ions secondaires : application à la quantification - Université de Lorraine Access content directly
Theses Year : 1995

Study of the formation mechanism of MCs+ ions in secondary ion mass spectrometry : application to quantification

Étude de la formation des ions MCs+ en spectromètrie de masse d'ions secondaires : application à la quantification

Yannick Marie
  • Function : Author
  • PersonId : 760117
  • IdRef : 186339437

Abstract

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La spectrométrie de masse d'ions secondaires (SIMS) est une technique de microanalyse de surface très utilisée en raison de son excellente sensibilité (ppm-ppb), pour déterminer la présence de dopants et d'impuretés dans les matériaux. La quantification demeure son principal défaut à cause de l'importance de l'effet de matrice: la sensibilité d'un élément dépend fortement de la matrice dans laquelle il est analysé. Ce travail est consacré à l'étude d'une nouvelle technique, dite technique MCs+ ou cationisation, peu sensible à l'effet de matrice, permettant une analyse quantitative directe des matériaux complexes. Une étude détaillée des ions MCs+ montre que c'est leur mécanisme de formation par recombinaison qui est à l'origine de la faible sensibilité de la technique à l'effet de matrice. L’étude de plusieurs standards donne une première estimation de la fiabilité des résultats quantitatifs obtenus à l'aide de cette technique
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Dates and versions

tel-01751642 , version 1 (29-03-2018)

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  • HAL Id : tel-01751642 , version 1

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Cite

Yannick Marie. Étude de la formation des ions MCs+ en spectromètrie de masse d'ions secondaires : application à la quantification. Autre [cond-mat.other]. Institut National Polytechnique de Lorraine, 1995. Français. ⟨NNT : 1995INPL124N⟩. ⟨tel-01751642⟩
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