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Étude de la formation des ions MCs+ en spectromètrie de masse d'ions secondaires : application à la quantification

Résumé : La spectrométrie de masse d'ions secondaires (SIMS) est une technique de microanalyse de surface très utilisée en raison de son excellente sensibilité (ppm-ppb), pour déterminer la présence de dopants et d'impuretés dans les matériaux. La quantification demeure son principal défaut à cause de l'importance de l'effet de matrice: la sensibilité d'un élément dépend fortement de la matrice dans laquelle il est analysé. Ce travail est consacré à l'étude d'une nouvelle technique, dite technique MCs+ ou cationisation, peu sensible à l'effet de matrice, permettant une analyse quantitative directe des matériaux complexes. Une étude détaillée des ions MCs+ montre que c'est leur mécanisme de formation par recombinaison qui est à l'origine de la faible sensibilité de la technique à l'effet de matrice. L’étude de plusieurs standards donne une première estimation de la fiabilité des résultats quantitatifs obtenus à l'aide de cette technique
Document type :
Theses
File URL :
http://docnum.univ-lorraine.fr/prive/INPL_T_1995_MARIE_Y.pdf
Complete list of metadatas

https://hal.univ-lorraine.fr/tel-01751642
Contributor : Thèses Ul <>
Submitted on : Thursday, March 29, 2018 - 1:23:32 PM
Last modification on : Monday, April 16, 2018 - 10:41:11 AM

Identifiers

  • HAL Id : tel-01751642, version 1

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Citation

Yannick Marie. Étude de la formation des ions MCs+ en spectromètrie de masse d'ions secondaires : application à la quantification. Autre [cond-mat.other]. Institut National Polytechnique de Lorraine, 1995. Français. ⟨NNT : 1995INPL124N⟩. ⟨tel-01751642⟩

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