Study of iron carbides, iron nitrides ans iron carbonitrides deposited by sputtering
Etude de carbures, nitrures et carbonitrures de fer élaborés par pulvérisation de fer élaborés par pulvérisation cathodique
Abstract
Three nitrogen-rich new cubic phases were recently discovered in the Fe-N system. As the Fe-N and Fe-C systems have joint structures, it can be considered the formation of new structures in the Fe-N-C system. These three systems are explored by preparing, in a large field of composition, coatings by sputtering. The coatings were characterized structurally and chemically with the help of XEDS, SNMS, Castaing probe, XRD, TEM, EELS and SEM. The carbon-rich Fe-C coatings possess a nanocomposite structure. The nitrogen-rich Fe-N coatings rich are mixtures of the cubic g'' and g''' phases and of a no-referenced phase, called X. Carbon addition involves the disappearance of these phases to the profit of the Fe2(N,C) phases. The g'' and g''' nitrides were isolated, which made it possible to determine the structure of g''', together with the characterization of their microstructure, the influence of oxygen A cubic g'''-Fe(N,C) carbonitride was highlighted
Trois nouvelles phases cubiques riches en azote ont récemment été découvertes dans le système Fe-N. Les systèmes Fe-N et Fe-C possèdant des structures en commun, il peut être envisagé la formation de structures inédites dans le système Fe-N-C. Ces 3 systèmes sont explorés en élaborant dans un large domaine de composition des dépôts par pulvérisation cathodique et en les caractérisant par XEDS, SNMS, microsonde de Castaing, DRX, MET, EELS et MEB. Les films du système Fe-C riches en carbone possèdent une structure nanocomposite. Les films du système Fe-N riches en azote sont constitués des phases cubiques g'' et g''' et d'une phase non répertoriée appelée X. L'insertion de carbone entraîne la disparition de ces phases au profit des phases Fe2(N,C). Les nitrures g'' et g''' ont été isolés, ce qui a permis de déterminer la structure de g''' et de caractériser leur microstructure, l'influence de l'oxygène, etc... L'existence d'un carbonitrure cubique g'''-Fe(N,C) a été mise en évidence
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