Optimizing precision of rotating compensator ellipsometry - Université de Lorraine
Poster De Conférence Année : 2007

Optimizing precision of rotating compensator ellipsometry

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2007 Poster-ICSE4-2007- RCE.pdf (289.95 Ko) Télécharger le fichier
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hal-02900958 , version 1 (16-07-2020)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02900958 , version 1

Citer

L. Broch, L. Johann. Optimizing precision of rotating compensator ellipsometry. ICSE-4 - 4th International Conference on Spectroscopic Ellipsometry, 2007, Stockholm, Sweden. ⟨hal-02900958⟩

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