Optimisation de la barrière Al2O3 pour l'obtention de composants magnétorésistifs tunnel - Université de Lorraine Access content directly
Theses Year : 2000

Optimisation de la barrière Al2O3 pour l'obtention de composants magnétorésistifs tunnel

Abstract

Non disponible / Not available
Cette thèse traite de la réalisation d'hétérostructures à effet tunnel polarisé en spin de type Métal-Isolant-Métal avec Fe, Co ou NiFe comme électrodes ferromagnétiques et Al2O3 comme barrière. La problématique principale de ce travail a été d'optimiser le procédé d'obtention de la barrière tunnel Al2O3 par trois méthodes : sputtering RF à partir d'une cible céramique, oxydation sous plasma d'une mince couche d'Al métallique et oxydation naturelle d'un film Al. Cependant, l'accent a aussi été mis sur plusieurs autres points : - la réalisation d'électrodes ferromagnétiques à coercivité contrôlées, soit par durcissement d'une couche de Fe (modification des conditions de dépôt), soit par couplage d'échange interfacial avec une couche anti ferromagnétique FeMn ("exchange biasing") ; -l'obtention de structures permettant l'injection à travers la barrière tunnel (géométrie "Courant Perpendiculaire au Plan" ou CPP). Pour cela des masques de contact ont été conçus, à base de feuilles CuBe ou de plaquettes de Si gravées par lithographie. La résolution maximale de ces méthodes a permis l'obtention de surfaces de jonctions de l'ordre de 100 [micro]m de côté. D'autre part, afin de réduire la taille des jonctions, la lithographie optique avec attaque chimique, ionique et liftoff a été employée pour créer les structures CPP après dépôt.
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Dates and versions

tel-01746430 , version 1 (29-03-2018)

Identifiers

  • HAL Id : tel-01746430 , version 1

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Cite

Christophe Féry. Optimisation de la barrière Al2O3 pour l'obtention de composants magnétorésistifs tunnel. Autre [cond-mat.other]. Université Henri Poincaré - Nancy 1, 2000. Français. ⟨NNT : 2000NAN10026⟩. ⟨tel-01746430⟩
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