Des dépôts très minces de fer et d'argent ont été élaborés sur verre float, dans des conditions d'ultravide. La réflectivité des rayons X aux petits angles, et la microscopie électronique en transmission, ont montré, dans le cas du fer, une diminution de la densité des dépôts et une inclinaison des grains colonnaires quand le flux incident devient oblique. Ces phénomènes s'expliquent par un effet d'ombrage et une diffusion de surface limitée, dans le cadre d'une croissance de type Volmer-Weber. Les ilots tridimensionnels d'argent sont très élevés par rapport au fer, mais la diffusion de surface très grande détruit l'effet d'ombrage. Les dépôts obliques de fer présentent des propriétés optiques dites de sélectivité angulaire qui s'expliquent par leur microstructure anisotrope. La technique Rheed a été appliquée de façon originale à ces dépôts polycristallins rugueux possédant des axes de texture obliques. Les clichés Rheed sont expliqués par le calcul et confirmes par des figures de pole aux rayons x. La rugosité des dépôts de fer et son évolution avec l'épaisseur ont été étudiées par diffusion diffusé en mode spéculaire et non-spéculaire. La croissance de fer s'interprète selon des lois d'échelle dont les exposants mesurés expérimentalement vérifient la faible diffusion de surface. Le modèle théorique de Kardar-Parisi-Zhang est le mieux adapté pour décrire la croissance de fer en incidence normale. L’inclinaison du flux incident et l'effet d'ombrage modifient les valeurs des exposants, et induisent une corrélation plus grande des rugosités