Interaction entre un jet gazeux chargé de particules réactives et une surface chaude : application à un procédé de dépôt de couches minces

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Contributor : Thèses Ul <>
Submitted on : Thursday, March 29, 2018 - 1:07:07 PM
Last modification on : Thursday, January 31, 2019 - 1:27:50 AM

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INPL_T_1996_BARILLON_B.pdf
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Bruno Barillon. Interaction entre un jet gazeux chargé de particules réactives et une surface chaude : application à un procédé de dépôt de couches minces. Autre [cond-mat.other]. Institut National Polytechnique de Lorraine, 1996. Français. ⟨NNT : 1996INPL062N⟩. ⟨tel-01751123⟩

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