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Interaction entre un jet gazeux chargé de particules réactives et une surface chaude : application à un procédé de dépôt de couches minces

Abstract : Not available
Document type :
Theses
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https://hal.univ-lorraine.fr/tel-01751123
Contributor : Thèses UL Connect in order to contact the contributor
Submitted on : Thursday, March 29, 2018 - 1:07:07 PM
Last modification on : Wednesday, May 11, 2022 - 11:31:27 AM

File

INPL_T_1996_BARILLON_B.pdf
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  • HAL Id : tel-01751123, version 1

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Bruno Barillon. Interaction entre un jet gazeux chargé de particules réactives et une surface chaude : application à un procédé de dépôt de couches minces. Matière Condensée [cond-mat]. Institut National Polytechnique de Lorraine, 1996. Français. ⟨NNT : 1996INPL062N⟩. ⟨tel-01751123⟩

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