Elaboration and caracterization of Al-Cr-(N) and Al-Ti-(N) coatings obtained by reactive magnetron sputtering - Archive ouverte HAL Access content directly
Theses Year : 1996

Elaboration and caracterization of Al-Cr-(N) and Al-Ti-(N) coatings obtained by reactive magnetron sputtering

Synthèse et caractérisation de dépôts Al-Cr-(N) et Al-Ti-(N) obtenus par pulvérisation cathodique magnétron en condition réactive

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Abstract

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Ce travail porte sur l'élaboration et la caractérisation chimique, structurale, mécanique et électrochimique de revêtements Al-Cr-(N) et Al-Ti-(N) obtenus par pulvérisation cathodique magnétron de cibles composites Al-Cr et Al-Ti dans des plasmas d'argon et d'argon/azote. Les mécanismes de transfert de matière sont d'abord étudiés avec l'aide de l'analyse métallurgique des revêtements, le diagnostic du plasma par spectrométrie d'émission optique et un modèle de pulvérisation adapté à la géométrie des cibles composites. Les revêtements bruts de pulvérisation sont composés de solutions solides microcristallines ou amorphes. L’azote favorise l'amorphisation des revêtements. Les solutions solides amorphes à base d'aluminium qui sont sursaturées en chrome ou en titane et, éventuellement, en azote sont particulièrement étudiées car elles offrent le meilleur compromis entre le renforcement mécanique des revêtements et leurs propriétés électrochimiques. La stabilité thermique de ces revêtements amorphes est aussi discutée
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Dates and versions

tel-01751508 , version 1 (29-03-2018)

Identifiers

  • HAL Id : tel-01751508 , version 1

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Cite

Frédéric Sanchette. Synthèse et caractérisation de dépôts Al-Cr-(N) et Al-Ti-(N) obtenus par pulvérisation cathodique magnétron en condition réactive. Autre. Institut National Polytechnique de Lorraine, 1996. Français. ⟨NNT : 1996INPL057N⟩. ⟨tel-01751508⟩
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