Synthèse et caractérisation de films Al-O, Al-N et Zr-O prépares par pulvérisation cathodique magnétron en condition réactive

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Document type :
Theses
File URL :
http://docnum.univ-lorraine.fr/prive/INPL_T_1994_STAUDER_B.pdf
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Contributor : Thèses Ul <>
Submitted on : Thursday, March 29, 2018 - 1:28:17 PM
Last modification on : Monday, April 16, 2018 - 10:41:30 AM

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Bruno Stauder. Synthèse et caractérisation de films Al-O, Al-N et Zr-O prépares par pulvérisation cathodique magnétron en condition réactive. Autre [cond-mat.other]. Institut National Polytechnique de Lorraine, 1994. Français. ⟨NNT : 1994INPL080N⟩. ⟨tel-01751867⟩

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