Étude corrélative d'un plasma multipolaire d'oxygène et des diélectriques formés dans ce plasma sur un substrat semi-conducteur : application à la passivation du phosphure d'indium - Université de Lorraine Access content directly
Theses Year : 1993

Correlative study of oxygen multipolar plasma and dielectrics formed in this plasma on a semi-conductor substrat : application to a passivation of indium phosphide

Étude corrélative d'un plasma multipolaire d'oxygène et des diélectriques formés dans ce plasma sur un substrat semi-conducteur : application à la passivation du phosphure d'indium

Ahmed Bouziane
  • Function : Author
  • PersonId : 790551
  • IdRef : 192277596

Abstract

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Ce travail consiste à étudier la passivation du phosphure d'indium (semi-conducteur III-V) dans un plasma multipolaire d'oxygène en adoptant deux types d'excitation: 1) excitation avec une cathode chaude; 2) excitation avec micro-onde (RCEL). L'optimisation du procédé a été basée essentiellement sur le diagnostic du plasma réalisé par deux méthodes: 1) diagnostic par sonde électrostatique; 2) étude de la propagation d'une onde acoustique ionique dans le plasma. Une caractérisation électrique des structures mis élaborées permet de tester les qualités de l'oxyde et de déterminer les paramètres physiques caractérisant l'isolant et son interface avec le semi-conducteur. Une caractérisation physico-chimique identifie la composition chimique de l'isolant
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Dates and versions

tel-01753685 , version 1 (29-03-2018)

Identifiers

  • HAL Id : tel-01753685 , version 1

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Cite

Ahmed Bouziane. Étude corrélative d'un plasma multipolaire d'oxygène et des diélectriques formés dans ce plasma sur un substrat semi-conducteur : application à la passivation du phosphure d'indium. Autre. Université Henri Poincaré - Nancy 1, 1993. Français. ⟨NNT : 1993NAN10039⟩. ⟨tel-01753685⟩
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