Étude corrélative d'un plasma multipolaire d'oxygène et des diélectriques formés dans ce plasma sur un substrat semi-conducteur : application à la passivation du phosphure d'indium

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Theses
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http://docnum.univ-lorraine.fr/prive/SCD_T_1993_0039_BOUZIANE.pdf
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Contributor : Thèses Ul <>
Submitted on : Thursday, March 29, 2018 - 4:47:00 PM
Last modification on : Monday, April 16, 2018 - 10:40:55 AM

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Ahmed Bouziane. Étude corrélative d'un plasma multipolaire d'oxygène et des diélectriques formés dans ce plasma sur un substrat semi-conducteur : application à la passivation du phosphure d'indium. Autre. Université Henri Poincaré - Nancy 1, 1993. Français. ⟨NNT : 1993NAN10039⟩. ⟨tel-01753685⟩

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