Etude des mécanismes réactionnels en volume et des phénomènes de surface dans un réacteur de pulvérisation cathodique. Application au contrôle d'un procédé d'élaboration de revêtements de nitrures de titane

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Contributor : Thèses Ul <>
Submitted on : Friday, March 30, 2018 - 9:48:02 AM
Last modification on : Monday, April 16, 2018 - 10:42:06 AM

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Thierry Czerwiec. Etude des mécanismes réactionnels en volume et des phénomènes de surface dans un réacteur de pulvérisation cathodique. Application au contrôle d'un procédé d'élaboration de revêtements de nitrures de titane. Autre [cond-mat.other]. Université Henri Poincaré - Nancy 1, 1992. Français. ⟨NNT : 1992NAN10022⟩. ⟨tel-01754402⟩

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