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Etude des mécanismes réactionnels en volume et des phénomènes de surface dans un réacteur de pulvérisation cathodique. Application au contrôle d'un procédé d'élaboration de revêtements de nitrures de titane

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https://hal.univ-lorraine.fr/tel-01754402
Contributor : Thèses Ul <>
Submitted on : Friday, March 30, 2018 - 9:48:02 AM
Last modification on : Thursday, November 12, 2020 - 3:46:03 PM

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SCD_T_1992_0022_CZERWIEC.pdf
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  • HAL Id : tel-01754402, version 1

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Thierry Czerwiec. Etude des mécanismes réactionnels en volume et des phénomènes de surface dans un réacteur de pulvérisation cathodique. Application au contrôle d'un procédé d'élaboration de revêtements de nitrures de titane. Autre [cond-mat.other]. Université Henri Poincaré - Nancy 1, 1992. Français. ⟨NNT : 1992NAN10022⟩. ⟨tel-01754402⟩

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