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Etude des mécanismes réactionnels en volume et des phénomènes de surface dans un réacteur de pulvérisation cathodique. Application au contrôle d'un procédé d'élaboration de revêtements de nitrures de titane

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https://hal.univ-lorraine.fr/tel-01754402
Contributor : Thèses Ul Connect in order to contact the contributor
Submitted on : Friday, March 30, 2018 - 9:48:02 AM
Last modification on : Wednesday, January 12, 2022 - 11:22:53 AM

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SCD_T_1992_0022_CZERWIEC.pdf
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Identifiers

  • HAL Id : tel-01754402, version 1

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Thierry Czerwiec. Etude des mécanismes réactionnels en volume et des phénomènes de surface dans un réacteur de pulvérisation cathodique. Application au contrôle d'un procédé d'élaboration de revêtements de nitrures de titane. Matière Condensée [cond-mat]. Université Henri Poincaré - Nancy 1, 1992. Français. ⟨NNT : 1992NAN10022⟩. ⟨tel-01754402⟩

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