Méthodes d'exploitation des transitoires de capacité en spectroscopie des niveaux profonds (DTLS) : eapplication à des jonctions Au-Inp - Université de Lorraine Access content directly
Theses Year : 1992

Capacitance transients analyse in deep level transient spectroscopy (DTLS) : application to Au-InP junctions

Méthodes d'exploitation des transitoires de capacité en spectroscopie des niveaux profonds (DTLS) : eapplication à des jonctions Au-Inp

Etienne Losson

Abstract

The topic of this thesis was to compare different measurement methods to analyse deep centers in Au-InP diodes. After a brief summary of the physical principles necessary to understand the deep level transient spectroscopy (DTLS) and the commonly used measurement modes (boxcar and lock-in systems), a presentation of numerical methods used for the transient analysis is done. Two kinds of methods are distinguished : the correlation and the isothermal methods. The two main factors used to estimate the results given by the correlation function are : the spectral resolution and the signal to noise ratio. In ordeer to improve the quality of the spectra, smoothing procedures have been used. In another way, to obtain a more precise analys of the spectra, a method named five emission rate method has been introduced. Isothermal methods reduce the measurement time owing to the limited number of capacitance transients used, on the other hand, the accuracy of the results is not so good. To summarize, we can say that several numerical methods (especially among the correlation methods) applied to Au-Inp diodes give us more precise results than conventional methods, like boxcar or lock-in systems
La comparaison de différentes méthodes de mesures et d'analyse des niveaux profonds appliquées à des structures Au-InP était le but principal de ce travail de thèse. Après un bref rappel des principes physiques nécessaires à la compréhension de la spectroscopie des niveaux profonds (DTLS) et des techniques de mesure les plus utilisées (boxcar et détection synchrone), une présentation de méthodes numériques d'analyse de transitoires a été faite. Ces dernières sont classées dans deux grandes familles : les méthodes de corrélation et les méthodes isothermes. Les principaux critères utilisés pour différencier les fonctions de corrélation sont : la résolution spectrale et le rapport signal sur bruit. Afin d'améliorer la qualité des spectres obtenus, des opérations de lissage ont été utilisées. En outre, pour une analyse plus fine des spectres, une méthode appelée méthode à cinq vitesses d'émission a été mise au point. Les méthodes isothermes permettent de réduire les temps de mesure puisque seul un nombre restreint de transitoires de capacité sont nécessaires, par contre la précision des résultats est assez médiocre. On retiendra que plusieurs méthodes (surtout parmi les méthodes de corrélation) appliquées à l'étude de structures Au-InP, apportent davantage de précision que les méthodes classiques (boxcar et détection synchrone)
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tel-01775984 , version 1 (24-04-2018)

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  • HAL Id : tel-01775984 , version 1

Cite

Etienne Losson. Méthodes d'exploitation des transitoires de capacité en spectroscopie des niveaux profonds (DTLS) : eapplication à des jonctions Au-Inp. Sciences de l'ingénieur [physics]. Université Paul Verlaine - Metz, 1992. Français. ⟨NNT : 1992METZ023S⟩. ⟨tel-01775984⟩
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