Diagnostics et modélisation du nettoyage de surface par une post-décharge micro-ondes argon-azote

Abstract : Unavailable
Document type :
Theses
File URL :
http://docnum.univ-lorraine.fr/prive/INPL_T_2002_MEZERETTE_D.pdf
Complete list of metadatas

https://hal.univ-lorraine.fr/tel-02019368
Contributor : Memoires Ul <>
Submitted on : Thursday, February 14, 2019 - 2:55:38 PM
Last modification on : Friday, February 15, 2019 - 1:24:07 AM

Identifiers

  • HAL Id : tel-02019368, version 1

Collections

Citation

David Mézerette. Diagnostics et modélisation du nettoyage de surface par une post-décharge micro-ondes argon-azote. Physique [physics]. INPL - Institut National Polytechnique de Lorraine, 2002. Français. ⟨NNT : 2002INPLA54N⟩. ⟨tel-02019368⟩

Share

Metrics

Record views

9