Non-thermal plasma etching of MOF thin films in high optical quality for interference sensing - Université de Lorraine
Article Dans Une Revue Optical Materials Année : 2025

Non-thermal plasma etching of MOF thin films in high optical quality for interference sensing

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dimanche 22 décembre 2024
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hal-04717875 , version 1 (02-10-2024)

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Citer

Pavel Alekseevskiy, Maria Timofeeva, Semyon Bachinin, Regis Peignier, Cedric Noel, et al.. Non-thermal plasma etching of MOF thin films in high optical quality for interference sensing. Optical Materials, 2025, 154, pp.115666. ⟨10.1016/j.optmat.2024.115666⟩. ⟨hal-04717875⟩
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