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Étude de la pulvérisation cathodique magnétron des aciers inoxydables austénitiques dans les plasmas réactifs Ar-CH4, N2 OU O2 : ecaractérisation chimique et structurale des dépôts réalisés

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https://hal.univ-lorraine.fr/tel-01750976
Contributor : Thèses Ul Connect in order to contact the contributor
Submitted on : Thursday, March 29, 2018 - 1:00:20 PM
Last modification on : Wednesday, January 5, 2022 - 2:15:01 PM

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INPL_T_1991_BILLARD_A.pdf
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  • HAL Id : tel-01750976, version 1

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Alain Billard. Étude de la pulvérisation cathodique magnétron des aciers inoxydables austénitiques dans les plasmas réactifs Ar-CH4, N2 OU O2 : ecaractérisation chimique et structurale des dépôts réalisés. Sciences de l'ingénieur [physics]. Institut National Polytechnique de Lorraine, 1991. Français. ⟨NNT : 1991INPL023N⟩. ⟨tel-01750976⟩

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