Diagnostic d'un plasma de pulvérisation cathodique magnétron : contribution à l'étude des possibilités de contrôle d'un procédé de dépôt d'alumine en conditions réactivés

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Contributor : Thèses Ul <>
Submitted on : Thursday, March 29, 2018 - 4:44:20 PM
Last modification on : Monday, April 16, 2018 - 10:42:53 AM

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Frédéric Perry. Diagnostic d'un plasma de pulvérisation cathodique magnétron : contribution à l'étude des possibilités de contrôle d'un procédé de dépôt d'alumine en conditions réactivés. Autre [cond-mat.other]. Université Henri Poincaré - Nancy 1, 1996. Français. ⟨NNT : 1996NAN10324⟩. ⟨tel-01753538⟩

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