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Diagnostic d'un plasma de pulvérisation cathodique magnétron : contribution à l'étude des possibilités de contrôle d'un procédé de dépôt d'alumine en conditions réactivés

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https://hal.univ-lorraine.fr/tel-01753538
Contributor : Thèses Ul <>
Submitted on : Thursday, March 29, 2018 - 4:44:20 PM
Last modification on : Friday, November 13, 2020 - 8:36:07 AM

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SCD_T_1996_0324_PERRY.pdf
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Identifiers

  • HAL Id : tel-01753538, version 1

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Frédéric Perry. Diagnostic d'un plasma de pulvérisation cathodique magnétron : contribution à l'étude des possibilités de contrôle d'un procédé de dépôt d'alumine en conditions réactivés. Autre [cond-mat.other]. Université Henri Poincaré - Nancy 1, 1996. Français. ⟨NNT : 1996NAN10324⟩. ⟨tel-01753538⟩

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